EB滅菌では、細胞内で以下の2つの作用が働きます。

＜直接作用＞
EBが細胞の核酸などの標的分子に作用(電離)して、細胞にダメージを与えます。

＜関接作用＞
細胞中の水分子をEBにより、活性化し、細胞に作用してダメージを与えます。

一般的な薬剤による滅菌では、最終製品への薬剤残留が懸念されます。また熱殺菌はプラスチック素材などには不向き。EB滅菌なら薬剤を使用せず、さらに常温で滅菌できます。
高出力のEBは、他の滅菌方法に比べ、ミリ秒オーダで高速連続滅菌を可能にします。容易な運転操作で、手軽にON・OFF操作、出力制御が可能です。
薬剤、加熱を使わない、クリーンな滅菌がEB処理の特徴です。

UVでは難しい滅菌レベルも達成できます。ガンマ線より短時間で滅菌が可能です。
対象物の表面にだけ作用するため、エネルギー効率に優れています。